Dual Beam Microscope

HELIOS Nanolab650

                                  Scientific head : Benoit Arnal                                      

 

Columns : 

  • Magellan electronic column
  • Tomawak ion column

Gun :

  • Magellan electronic column : Schottky field emission Gun
  • Tomahawak ion column : Ga LMIS (Liquid Metal Ion Source)

Résolution :

  • Magellan electronic column : 0.8 nm at 15 kV and 1.5 nm at 200 V
  • Tomahawak ion column : > 4.5 nm at 30 kV

Voltage :

  • Magellan electronic column : de 20 V à 30 kV
  • Tomahawak ion column : de 500 V à 30 kV

Current :

  • Magellan electronic column : 0.6 pA to 26 nA
  • Tomahawak ion column : de 1.1 pA à 65 nA

Detectors :

  • ETD (EverHart - Thornley detector)
  • TLD (Through lens detector)
  • CBS (concentric backscattered electron)
  • ICE (Secondary ion/electron detector)

Gas injection system :

  • Deposition of platinium
  • Tungsten
  • Carbon

Nanmanipulator : Omniprobe 100.7

Electron Back Scattering Diffraction detector : Bruker de type CrystAlign

Accessories :

  • Piezo stage
  • Plasma cleaner
  • Charge neutralizer for non-conductive samples