Microscope à balayage à doubles faisceaux
ZEISS AURIGA nucléarisé
Responsable scientifique : B.Verhaeghe
Colonnes :
- Electronique Gemini
- Ionique Cobra
Canons:
- Electronique Gemini : FEG (émission de champ à cathode chaude Schottky)
- Ionique Cobra : Ga LMIS (Liquid Metal Ion Source)
Résolutions :
- Electronique Gemini : 1.0 nm à 15 kV et 1.9 nm à 1 kV
- Ionique Cobra : 2.5 nm à 30 kV
Tensions :
- Electronique Gemini : de 0.1 kV à 30 kV
- Ionique Cobra : de 1 kV à 30 kV
Courants :
- Electronique Gemini : de 4 pA à 100 nA
- Ionique Cobra : de 1 pA à 50 nA
Détecteurs pour l'imagerie :
- Dans la colonne électronique :
- Détecteur SE
- Détecteur BSE avec tension de filtrage variable
- Dans la chambre :
- Détecteur SE de type Everhart-Thornley
- Détecteur SESI (Secondary Electron and Secondary Ion detector)
- Détecteur annuaire BSE type YAG
- Deux caméras infrarouge
Injecteurs de Gaz : 2 monoGIS Orsay Physics pour dépôt Platine et/ou Tungstène
Micromanipulateur : Omniprobe 400 (pilotage par ordinateur)
Platine : 6 axes
Système d'analyse EBSD :
- Oxford AZtec HKL Advanced NordlysMax 2
- Cartographies 2D et 3D
Accessoires :
- Evacton (Plasma Cleaner)
Fonctionnalités :
- Préparation lame mince pour MET
- Préparation pointe pour SAT
- Tomographie 3D par imagerie BSE ou SE
- Cartographies 2D et 3D des phases et des structures cristallines par EBSD
Activité maximale des échantillons acceptés : 40 GBq équivalent Cobalt 60
