Dualbeam HELIOS Nanolab 660 FEI
Caractérisation haute résolution et fabrication de lames minces
Responsable scientifique : Emmanuel Gardés
Platine motorisée 5 axes haute précision :
- XY : 150 mm piezo
- Z : 10 mm motorisée
- T : -10° +60°
- Rotation infinie-piezo
Field emission SEM (FESEM) :
- Colonne électronique Elstar
- Résolution extrême : subnanométrique de 500 V à 30 kV
- 0.6 nm à 15 keV (0.7 nm à 1 kV au point de coïncidence)
Focused Ion Beam (FIB) :
- Colonne Tomahawk
- 0.5 kV-30 kV
- Résolution 4 nm à 30 kV au point de coïncidence
Détecteurs :
- In-Lens détecteur TLD - avec mode SE et BSED
- Détecteur ICD
- Détecteur d'électron secondaire
- Détecteur ICE
- Détecteur DBS rétractable
- Détecteur DBS rétracatable
- Détecteur STEM3+ rétractable
Détecteurs EDS : AZTEC Advanced X-Max 80 mm² (Oxford Instrument)
Détecteurs EBSD : AZTEC EBSD HKL Advanced Nano
Accessoires :
- Mesure de courant
- Caméra CCD IR
- Caméra de navigation Nav Cam
- GIS : dépôt de platine
- Quickloader
- Neutraliseur de charge
- Système Easy lift de manipulation d'échantillon in-situ
- Nanobuilder (logiciel de fabrication automatique de structures complexes)
