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Microscope à balayage à doubles faisceaux

ZEISS AURIGA nucléarisé

Responsable scientifique : B.Verhaeghe

 

Colonnes : 

  • Electronique Gemini
  • Ionique Cobra

Canons:

  • Electronique Gemini : FEG (émission de champ à cathode chaude Schottky)
  • Ionique Cobra : Ga LMIS (Liquid Metal Ion Source)

Résolutions :

  • Electronique Gemini : 1.0 nm à 15 kV et 1.9 nm à 1 kV
  • Ionique Cobra : 2.5 nm à 30 kV

Tensions :

  • Electronique Gemini : de 0.1 kV à 30 kV
  • Ionique Cobra : de 1 kV à 30 kV

Courants :

  • Electronique Gemini : de 4 pA à 100 nA
  • Ionique Cobra : de 1 pA à 50 nA

Détecteurs pour l'imagerie :

  • Dans la colonne électronique :
    • Détecteur SE
    • Détecteur BSE avec tension de filtrage variable
  • Dans la chambre :
    • Détecteur SE de type Everhart-Thornley
    • Détecteur SESI (Secondary Electron and Secondary Ion detector)
    • Détecteur annuaire BSE type YAG
  • Deux caméras infrarouge

Injecteurs de Gaz : 2 monoGIS Orsay Physics pour dépôt Platine et/ou Tungstène

Micromanipulateur : Omniprobe 400 (pilotage par ordinateur)

Platine : 6 axes

Système d'analyse EBSD :

  • Oxford AZtec HKL Advanced NordlysMax 2
  • Cartographies 2D et 3D

Accessoires :

  • Evacton (Plasma Cleaner)

Fonctionnalités :

  • Préparation lame mince pour MET
  • Préparation pointe pour SAT
  • Tomographie 3D par imagerie BSE ou SE
  • Cartographies 2D et 3D des phases et des structures cristallines par EBSD

Activité maximale des échantillons acceptés : 40 GBq équivalent Cobalt 60