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Microscope à balayage à doubles faisceaux

HELIOS Nanolab650

Responsable scientifique : Benoit Arnal

 

Colonnes : 

  • Electronique Magellan
  • Ionique Tomahawak

Canons:

  • Electronique Magellan : émission de champ à cathode chaude Schottky
  • Ionique Tomahawak : Ga LMIS (Liquid Metal Ion Source)

Résolutions :

  • Electronique Magellan : 0.8 nm à 15 kV et 1.5 nm à 200 V
  • Ionique Tomahawak : > 4.5 nm à 30 kV

Tensions :

  • Electronique Magellan : de 20 V à 30 kV
  • Ionique Tomahawak : de 500 V à 30 kV

Courants :

  • Electronique Magellan : de 0.6 pA à 26 nA
  • Ionique Tomahawak : de 1.1 pA à 65 nA

Détecteurs pour l'imagerie :

  • ETD (EverHart - Thornley detector)
  • TLD (Through lens detector)
  • CBS (concentric backscattered electron)
  • ICE (Secondary ion/electron detector)

Injecteurs pour les dépôts et les soudures :

  • Platine
  • Tungstène
  • Carbone

Micromanipulateur : Omniprobe 100.7

Système d'analyse EBSD : Bruker de type CrystAlign

Accessoires :

  • Platine eucentrique
  • Plasma Cleaner (Nettoyage de la surface des échantillons)
  • Neutraliseur de charge (préparation sur matériaux non conducteurs)