Microscope à balayage à doubles faisceaux
HELIOS Nanolab650
Responsable scientifique : Benoit Arnal
Colonnes :
- Electronique Magellan
- Ionique Tomahawak
Canons:
- Electronique Magellan : émission de champ à cathode chaude Schottky
- Ionique Tomahawak : Ga LMIS (Liquid Metal Ion Source)
Résolutions :
- Electronique Magellan : 0.8 nm à 15 kV et 1.5 nm à 200 V
- Ionique Tomahawak : > 4.5 nm à 30 kV
Tensions :
- Electronique Magellan : de 20 V à 30 kV
- Ionique Tomahawak : de 500 V à 30 kV
Courants :
- Electronique Magellan : de 0.6 pA à 26 nA
- Ionique Tomahawak : de 1.1 pA à 65 nA
Détecteurs pour l'imagerie :
- ETD (EverHart - Thornley detector)
- TLD (Through lens detector)
- CBS (concentric backscattered electron)
- ICE (Secondary ion/electron detector)
Injecteurs pour les dépôts et les soudures :
- Platine
- Tungstène
- Carbone
Micromanipulateur : Omniprobe 100.7
Système d'analyse EBSD : Bruker de type CrystAlign
Accessoires :
- Platine eucentrique
- Plasma Cleaner (Nettoyage de la surface des échantillons)
- Neutraliseur de charge (préparation sur matériaux non conducteurs)
