Sonde Atomique Tomographique
CAMECA LEAP 4000X HR
Responsable scientifique : Anabelle Lopez
Type d'instrument : microscope analytique tridimensionnel de haute résolution
Principe : évaporation par effet de champ des atomes de surface d'un échantillon sous forme d'aiguille
Intérêt de la technique : analyse 3D des matériaux à l'échelle atomique (nature chimique, défauts,...)
Type de SAT : reflectron grand angle (spectrométrie de masse à temps de vol)
Matériaux analysés :
- Métalliques (conducteurs)
- Non métallique (semi-conducteurs, oxydes,...)
Résolution spatiale :
- 0.4 nm latéralement
- < 0.2 nm en profondeur
Sensibilité : < 5 appm
Rendement de détection : 42 %
Modes d'analyses :
- Électrique : apport d'énergie électrique par impulsions Haute Tension brèves (1 ns)
- Laser : apport d'énergie thermique par impulsion laser ultra-courte (femto-secondes)
Mode de préparation des échantillons : polissage électrochimique FIB
Forme des échantillons : aiguille avec rayon de courbure compris entre 50 et 100 nm
