Microscope Electronique à Balayage équipé d’une colonne ionique focalisée
ZEISS Crossbeam 540
Responsable technique : Auriane Etienne
Colonnes :
- MEB Optique électronique « Gemini II »
- FIB Gallium « Capella » fonctionnant de 0.5 à 30 kV
Détecteurs pour l'imagerie :
- Dans la chambre :
- Détecteurs d’électrons secondaires in-lens
- Détecteurs d’électrons rétrodiffusés in-lens
- Détecteurs d’électrons secondaires et d’ions secondaires
- Détecteurs d’électrons rétrodiffusés rétractable type YAG
Systèmes :
- D’injection de gaz Pt, W et C, OmniGIS II Oxford Instruments
- Couplé détecteur EDX SDD 60 mm2 et caméra EBSD sensible EDAX Octane Super
- De balayage des faisceaux MEB et FIB « FIBICS NPVE »
Accessoires :
- Plasma Cleaner Evactron
- Electron Flood Gun
- Nanomanipulateur OmniProbe 400 Oxford Instruments
- Logiciel SmartSEM et SmartFIB
- Porte-objet X2 pour la préparation de lames TEM