Sondes Atomiques Tomographiques
CAMECA LEAP 5000 XR (upgrade du LEAP 4000 X HR via le projet GENESIS +)
CAMECA LEAP 5000 XS (upgrade du LEAP 4000 HR via le projet SATUP)
Responsables techniques : Ivan Blum et Auriane Etienne
Analyse de matériaux :
-
Conducteurs (métaux) avec des impulsions électriques
-
Semi-conducteurs ou isolants avec des impulsions laser
Large champ de vision : >100nm
Laser UV :
- Longueur d'ondes focalisé : 355 nm
- Taille du faisceau : 3µm
Résolutions en masse (sur Al++, à 50K) :
LEAP 5000 XR
- À mi-hauteur : 1140
- À 10% : 530
- À 1% : 300
LEAP 5000 XS
- À mi-hauteur :
- À 10% :
- À 1% :
Fréquences :
- De répétition des impulsions électriques : 500 kHz
- De répétition des impulsions laser : 500 kHz
- D’acquisition maximale : ~ 6.106 at./h
Température minimum de l’échantillon : 25K
Rendement de détection :
52 % pour LEAP 5000 XR
80 % pour le LEAP 5000 XS
Seuil de détections : jusqu’à 10 ppm
Rapport signal sur bruit : ~1/10000
Résolutions :
- En profondeur : < 0,1nm
- Latérale (5000 XR) : 0,4-1,1 nm
- Latérale (5000 XS) : 0,2-1,1 nm
Les projets GENESIS + et SATUP sont cofinancés par l'Union européenne à travers le Fonds européens de Développement Régional et la Région Normandie.
