Dualbeam HELIOS Nanolab 660 FEI

Caractérisation haute résolution et fabrication de lames minces

Responsable scientifique : Emmanuel Gardés

Platine motorisée 5 axes haute précision :

  • XY : 150 mm piezo
  • Z : 10 mm motorisée
  • T : -10° +60°
  • Rotation infinie-piezo

Field emission SEM (FESEM) :

  • Colonne électronique Elstar
  • Résolution extrême : subnanométrique de 500 V à 30 kV
  • 0.6 nm à 15 keV (0.7 nm à 1 kV au point de coïncidence)

Focused Ion Beam (FIB) :

  • Colonne Tomahawk
  • 0.5 kV-30 kV
  • Résolution 4 nm à 30 kV au point de coïncidence

Détecteurs :

  • In-Lens détecteur TLD - avec mode SE et BSED
  • Détecteur ICD
  • Détecteur d'électron secondaire
  • Détecteur ICE
  • Détecteur DBS rétractable
  • Détecteur DBS rétracatable
  • Détecteur STEM3+ rétractable

Détecteurs EDS : AZTEC Advanced X-Max 80 mm² (Oxford Instrument)

Détecteurs EBSD : AZTEC EBSD HKL Advanced Nano

Accessoires :

  • Mesure de courant
  • Caméra CCD IR
  • Caméra de navigation Nav Cam
  • GIS : dépôt de platine
  • Quickloader
  • Neutraliseur de charge
  • Système Easy lift de manipulation d'échantillon in-situ
  • Nanobuilder (logiciel de fabrication automatique de structures complexes)