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Sonde Atomique Tomographique

CAMECA LEAP 4000X HR

Responsable scientifique : Anabelle Lopez

 

Type d'instrument : microscope analytique tridimensionnel de haute résolution

Principe : évaporation par effet de champ des atomes de surface d'un échantillon sous forme d'aiguille

Intérêt de la technique : analyse 3D des matériaux à l'échelle atomique (nature chimique, défauts,...)

Type de SAT : reflectron grand angle (spectrométrie de masse à temps de vol)

Matériaux analysés :

  • Métalliques (conducteurs)
  • Non métallique (semi-conducteurs, oxydes,...)

Résolution spatiale : 

  • 0.4 nm latéralement
  • < 0.2 nm en profondeur

Sensibilité : < 5 appm

Rendement de détection : 42 %

Modes d'analyses :

  • Électrique : apport d'énergie électrique par impulsions Haute Tension brèves (1 ns)
  • Laser : apport d'énergie thermique par impulsion laser ultra-courte (femto-secondes)

Mode de préparation des échantillons : polissage électrochimique FIB

Forme des échantillons : aiguille avec rayon de courbure compris entre 50 et 100 nm