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Microscope Electronique à Balayage équipé d’une colonne ionique focalisée

ZEISS Crossbeam 540

Responsable scientifique: Auriane Etienne

Colonnes : 

  • MEB Optique électronique « Gemini II »
  • FIB Gallium « Capella » fonctionnant de 0.5 à 30 kV

Détecteurs pour l'imagerie :

  • Dans la chambre :
    • Détecteurs d’électrons secondaires in-lens
    • Détecteurs d’électrons rétrodiffusés in-lens
    • Détecteurs d’électrons secondaires et d’ions secondaires
  • Détecteurs d’électrons rétrodiffusés rétractable type YAG

Systèmes :

  • D’injection de gaz Pt, W et C, OmniGIS II Oxford Instruments
  • Couplé détecteur EDX SDD 60 mm2 et caméra EBSD sensible EDAX Octane Super
  • De balayage des faisceaux MEB et FIB « FIBICS NPVE »
     

Accessoires :

  • Plasma Cleaner Evactron
  • Electron Flood Gun
  • Nanomanipulateur OmniProbe 400 Oxford Instruments
  • Logiciel SmartSEM et SmartFIB
  • Porte-objet X2 pour la préparation de lames TEM