Microscope Électronique à Balayage équipé d’une colonne ionique focalisée
ZEISS Crossbeam 540
Responsables : Ronan Henry et Fabien Cuvilly
Financements
Le MEB-FIB XB540, installé en 2015 à Rouen, a été financé par la Région Haute-Normandie dans le cadre de l’Appel à Projets Energie.
Caractéristiques techniques
Colonnes :
- MEB Optique électronique « Gemini II »
- FIB Gallium « Capella » fonctionnant de 0.5 à 30 kV
Détecteurs pour l’imagerie :
- Dans la chambre :
- Détecteurs d’électrons secondaires in-lens
- Détecteurs d’électrons rétrodiffusés in-lens
- Détecteurs d’électrons secondaires et d’ions secondaires
- Détecteurs d’électrons rétrodiffusés rétractable type YAG
Équipements :
- Systèmes d’injection de gaz Pt et C, MonoGIS Orsay Physics
- détecteurs couplés EDX SDD 60 mm2 et caméra EBSD sensible EDAX Octane Super
- Logiciel de contrôle du balayage des faisceaux MEB et FIB « FIBICS NPVE »
Accessoires :
- Plasma Cleaner Evactron
- Micromanipulateur OmniProbe 400 Oxford Instruments
- Logiciel SmartSEM et SmartFIB
- Porte-objet X2 pour la préparation de lames TEM
